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ELA系列超精密直线伺服气浮平台
浏览:50 发布日期:2021-10-08 

由一派数控与德国AeroLas联合开发的ELA系列超精密平台,是以直线电机为驱动,微孔气浮导轨为支撑,控制精度在0.5~0.1微米的多轴运动平台,是高端电子、光学、芯片等工业领域精密加工和精密检测的首选伺服装置。其显著特点是:

●所有运动部件均无接触摩擦,无过定位;

●所有运动轴系布置在一个平面上,最大限度地提高平台结构的稳定性和工件移动时的平面度。

ELA系列主要技术参数:

技术指标描述

X/Y行程

X/Y速度

X/Y轴加速度

X/Y轴绝对定位精度

X/Y轴重复定位精度

单轴直线度

C轴转角

C轴转角绝对定位精度

C轴转角重复定位精度

工作平面的平面度

技术参数

300X300mm

0.05~1m/s

2g

0.4um   (有补偿)

0.2um

±1um   (有效行程)

360°

±1.5角秒

±1角秒

0.5um

各单项可实现的最高指标

4000X2500mm

4m/s

5g

0.25um(与测量控制系统有关)

0.02um(与测量控制系统有关)

±0.5um  (有效行程)

360°

±1.5角秒

±1角秒

0.3um

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