钙钛矿光伏板精密激光刻蚀设备
功能简介:
专为钙钛矿组建P1、P2、P3、P4 四道刻线工序打造,依托企业自研的极低齿槽力EPK 系列直线电机及高精密运动控制平台的两大核心优势,实现高效量产与超高加工精度,主打“高效赋能・品质卓越”,以精密直线伺服技术驱动光伏高端装备升级。
专为钙钛矿组建P1、P2、P3、P4 四道刻线工序打造,依托企业自研的极低齿槽力EPK 系列直线电机及高精密运动控制平台的两大核心优势,实现高效量产与超高加工精度,主打“高效赋能・品质卓越”,以精密直线伺服技术驱动光伏高端装备升级。
- 技术参数
- 产品描述
-
- 商品名称: 钙钛矿光伏板精密激光刻蚀设备
技术参数:
设备编号
ELL3030
ELL1206
ELL1612
ELL2412
产品尺寸
300*300
1200*600
1600*1200
2400*1200
直线度
±1μm
±2μm
±2.5μm
±2.5μm
重复精度
±0.7μm
±1μm
±1.2μm
±1.5μm
定位精度
±1μm
±1.5μm
±1.5μm
±2μm
运行速度
1.6m/s
2m/s
2.5m/s
2.5m/s
定位方式
3点mark
视觉跟随
视觉跟随
视觉跟随
产品类型
刚性
刚性/柔性
刚性/柔性
刚性/柔性
毛刺
<1μm
<1μm
<1μm
<1μm
-
产品描述:
1. 精度领先:
· 采用一派直驱EPK系列直线电机;
· 500mm行程内,直线度/重复精度≤±1μm;
· 3000mm长行程,运动精度≤±2.5μm;
2. 行业痛点突破性技术:
· 视觉/焦点双跟随系统:解决长行程加工中焦点偏移、精度劣化问题;
· PS0等间距功能:配合激光高速信号控制,实现光斑全程等间距(等效全段匀速);
· 设备可选配在线检测机构;
3. 卓越的刻蚀质量:
· 刻蚀线宽均匀性 5%~10%,单脉冲能量波动<±2%;;
· 热影响区域<2μm,解决隐形影响因素,刻蚀深度偏差<5%,刻蚀无毛刺,不影响后续膜层制作;
4. 7×24h稳定生产:
· 采用进口SP激光器,光束质量优秀,出光稳定性强,适配钙钛矿组件的冲效;
· 有效减少设备停机时间,保障生产线稼动率;
5. 智能化简易操作:
· 全触摸高清操作面板,一键启动;
· 智能参数调节及操作模式切换,无需专业培训,新手也能快速上手,降低人力成本。